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高功率磁控濺射(HiPIMS) 制備ITO柔性膜

新鉑自研HiPIMS及同步復頻Bias電源,提高鍍膜結合力!

定制等離子體放電電源

定制電源主要特點:定制不同功率、不同波形需求、不同性能的脈沖電源。

弧電源 P3E-1000

脈沖電壓范圍:0~200V,脈沖峰值電流 :1000A ,脈沖頻率范圍:150~500Hz ,脈沖脈寬范圍:50~500uS ,直流電壓范圍 :0~200V ,直流電流 :30-80A ,自檢引弧功能 :有 ,模塊同步:光纖,波形接口 :BNC電壓/電流 ,工業通訊端口 :RS485 

偏壓電源 Bias-80k

脈沖電壓范圍:50~1000V,脈沖峰值電流:50A,輸出功率:1kW,脈沖頻率范圍:1~80kHz,脈沖脈寬范圍:0.5~950uS,波形接口:輸出電壓BNC(200:1)/脈沖電流BNC(10:1),模塊同步:光纖,工業通訊端口:RS485/TCP(Modbus)

磁控電源 HiPIMS-1500

輸出功率:40kW,脈沖電壓范圍:200~1000V,脈沖峰值電流:1500A,脈沖頻率范圍:20~1000Hz,脈沖脈寬范圍:10~300uS,直流電壓范圍:100~750V,直流電流:40A,模塊同步:光纖

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