| 型號 | HiPIMS-100A |
| 峰值電流 | 100A |
| 脈沖電壓 | 0~1000V |
| 脈寬范圍 | 10~300uS |
| 頻率范圍 | 20~20000Hz |
| MAX功率 | 1~2KW(可定制) |
| 冷卻方式 | 風冷 |
| 輸入電源 | AC220V(單相三線) |
| 外控通訊 | RS485/TCP (Modbus) |
| 重量 | 20KG |
| 特點應(yīng)用 | 波形多變，適合小靶材，校園科研用 |
| 應(yīng)用推薦 | 膜層試樣，批量生產(chǎn) |
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