型號 | HiPIMS-100A |
峰值電流 | 100A |
脈沖電壓 | 0~1000V |
脈寬范圍 | 10~300uS |
頻率范圍 | 20~20000Hz |
MAX功率 | 1~2KW(可定制) |
冷卻方式 | 風冷 |
輸入電源 | AC220V(單相三線) |
外控通訊 | RS485/TCP (Modbus) |
重量 | 20KG |
特點應(yīng)用 | 波形多變,適合小靶材,校園科研用 |
應(yīng)用推薦 | 膜層試樣,批量生產(chǎn) |

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