HiPIMS:簡單的方法就能調控磁控濺射中的金屬/氣體離子比?
1)磁控濺射:HiPIMS中簡單的脈寬變化,就能調控膜層中的金屬/氣體離子比。
2)常規的磁控靶換成HiPIMS電源就可以達到上述效果。
不平凡的釩靶HiPIMS(放電區直徑約30mm放電電流達140A)
金屬釩(V)作為一種高熔點的稀有金屬材料,常與鈮、鉭、鎢、鉬并稱為難熔金屬。金屬釩具有耐鹽酸和硫酸的性能,并且耐氣-鹽-水腐蝕的性能要比大多數不銹鋼好。在某些特殊的重要場合,金屬V薄膜常被用來作為高溫隔離防護涂層,因此開展V靶HIPIMS放電特性方面的研究工作具有重要的意義。
6種靶材HiPIMS放電大不相同,設計工藝要知道!
HiPIMS放電,由于工作在放電曲線的特殊區域,其放電特性不僅依賴于使用的氣壓、電壓,更依賴于靶材。更由于HiPIMS工作模式是脈沖工作,其放電特性具有時間特征,而表現出不同的放電特性。這里我們選用常用的幾種靶材(Cu,Cr,Mo,Ti,V和C),給出了他們的放電特性。這種與時間相關的放電特性,對于工藝設計是非常重要的。
雙脈沖HiPIMS比傳統HiPIMS沉積速率提高近3倍
一種新型的高功率脈沖磁控濺射(HiPIMS)技術,即放電由脈寬短、電壓高的引燃脈沖和脈寬長、電壓低的工作脈沖2部分組成的雙脈沖高功率脈沖磁控濺射技術,目的是解決傳統高功率脈沖磁控濺射沉積速率低的問題。
真空弧放電下不同尋常的陰極腐蝕圖案
對于真空弧放電下的弧斑導致的陰極材料的腐蝕研究其實由來已久。對于真空弧放電下的弧斑主要有兩種,一種是移動較快、較小、較暗的弧斑,主要發生在較臟的靶面和氧化的靶面;另一種是移動較慢、較大較亮的弧斑,其主要發生在干凈和惰性氣體放電時的靶面。