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PVD前處理主要是清理掉什么?

引言

大家都知道PVD的前處理很重要,甚至有人說,一個膜層鍍好,可能有50%以上決定于前處理。那么前處理,主要清理掉什么呢?


內容

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1)油脂類處理:加工、裝配、操作時黏附上的潤滑油、切削液、防銹油等等

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2)水基類處理:操作時的手汗、吹氣時的水汽、唾液等

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3)表面氧化物處理:材料長期暴露在空氣中潮濕空氣中所形成的表面氧化物。

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4)酸、堿、鹽類物質:清洗時的殘留物質、手汗、水中的礦物質等等

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5)拋光殘渣及環(huán)境空氣中的塵埃和其他有機物處理等。


在了解到這些問題之后,我們就可以告訴用戶,在鍍膜前盡量要注意加工、操作過程和運輸過程。

也就能理解為何在裝爐操作的時候要帶口罩或特殊手套等等。

甚至在清洗、烘干或裝爐轉運時要利用好清潔車。

同時在真空室內要采用特殊的等離子體清理手段和工藝。這樣被鍍材料表面露出新鮮的活性表面,使得與被鍍材料有更好的原子-離子接觸。

如果不注意,這些表面殘留物都會使得膜層的結合力下降、甚至使得膜層結構優(yōu)化受到抑制,最終會影響膜層性能。

采用脈沖直流PECVD工藝在長管內沉積DLC膜層

2022-07-16

利用HiPIMS制備出的Ti-Si-N薄膜硬度可以達到66GPa!

2022-07-16
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