仓井空子-仓井老师-仓井老师的电影-仓井老师的动作片-仓井利亚-伧理片午夜伧理片-苍井空种子0-苍苍影院

語言切換

高引燃脈沖新HiPIMS模式下薄膜摩擦系數可降低到0.25

-引言-

多層薄膜能顯著改善復雜環境下部件的性能和壽命，為獲得性能良好的膜層，研發團隊提出了一種高引燃脈沖新HiPIMS放電技術。增加引燃脈沖的個數，強化了膜層的結合力，硬度以及摩擦磨損的性能。

-點睛-

采用了一種新型復合多脈沖高功率電源，脈沖電壓由高電壓、低脈寬激發瞬時大電流的引燃電壓，以及低電壓、高脈寬的維持放電的工作電壓兩部分組成。

-內容-

新型復合多脈沖高功率電源在引燃脈沖階段高電壓激發會使得靶前產生雪崩電離，靶電流迅速升高，真空爐內活性粒子數量急劇增加。引燃脈沖在脈沖周期中的個數對于放電模式以及薄膜質量有顯著的影響。

引燃脈沖個數到四時，隨著引燃脈沖數量的增多，薄膜的表面突起尺寸明顯減小，晶粒得到細化，且晶粒形貌由山峰狀變為棱錐狀，分布趨于均勻，表面晶體更加致密。膜層排列更加緊密，大大降低膜層的粗糙度，降低摩擦因數。

HiPIMS

圖1 引燃脈沖個數為4時對薄膜摩擦系數

電子和離子以較高能量沉積在基體表面，將結合力較弱的原子濺射剝離，顯著改善薄膜的結合強度。基體表面的溫度上升，提升了沉積時粒子的遷移能量，反應離子的化學活性也增加，有效促進了反應濺射的熱力學進程，使得表面更加致密，也增加了硬度。

HiPIMS

圖2 引燃脈沖個數對涂層硬度的影響

-結論-

（1）HiPIMS新模式使薄膜硬度上升。

（2）薄膜表面粗糙度、摩擦因數0.25、摩痕寬度下降。

（3）結合力增加，三和四引燃脈沖下結合力能達到HF1。

（4）膜層厚度在引燃脈沖個數為三時最大。

-參考文獻-

[1]高凱晨,鞏春志,徐嘯塵等.高引燃脈沖新HiPIMS模式對TiN/CrN多層膜結構和性能的影響[J].中國表面工程,2022,35(05):145-154.

2023-05-29

2023-05-17